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論平行光表面檢查燈能在潔凈室中發現微粒及劃痕
瀏覽次數:184發布日期:2021-12-22

潔凈室的目的為了滿足某些生產(醫療)活動的需求,將室內環境中的微粒數量控制在一定范圍的一種特殊環境??諝庵杏泻芏辔⒘?這些微粒的存在有可能對生產和醫療活動造成干擾和損傷。盡管潔凈室非常干凈,但是,潔凈室中仍然存在極少量的灰塵。除了空氣對流外,這些灰塵可能來自消耗品(例如手套和口罩)或由人體產生。(例如來自皮膚表面的死皮細胞)。

很多行業的元器件,如半導體元器件、光學鏡頭、液晶面板等在制造過程中,空氣中不允許有過多的灰塵顆粒;對于制造中的某些步驟,例如半導體,在清洗、載流子傳輸操作或涂覆光刻膠的過程中,由于空氣中的顆粒會影響產品質量并造成重大損失。

所以在潔凈室中進行微粒檢查的工作是必要的!

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在潔凈室中,一些沒有氣流的區域(死點)會慢慢積聚落塵。如果空氣受到干擾,這些空氣中的微塵會直接落到產品或工作人員身上,而不會被粒子計數器感應到。這些灰塵顆粒不易在潔凈室內的空氣中漂浮。當它們因靜電或極性聚集在一起時,很難將粘性灰塵吹到排氣口。

對于這種吸附的顆粒,不僅空氣過濾器的收集效率低,而且粒子計數器也難以感應,而且這種顆粒一旦附著在重要的表面(如光罩)上,可能會影響產量。(路徑越細,影響越大。)

如果操作者在一般的白光下很難從背景中分辨出灰塵顆粒,就無法有效地清潔灰塵,從而造成損失。

那么,該怎么樣觀察到樣品中的微粒和劃痕呢?

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因此,本文推薦使用LUYOR-3320 LED平行光表面檢查燈,有白光,黃光,綠光等三種選擇。

如果可以使用特定波長的檢測工具或小角度的平行光檢查燈LUYOR-3320,就能有效檢測產品上的粘塵,從而降低不良率。

此款透鏡將led發射出的圓形光斑更改為線條性輸出,透鏡輸出上下角度為8度,左右角度為60度角度,配合10顆大功率led能夠輸出的光斑為30x1.5cm,光束集中,不照射檢查人員眼睛,能夠滿足長時間檢查工作。配合臺式支架(臺式支架另購),上下高度可以調整,也可以多臺并列安裝,檢查各種尺寸的大屏幕。

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上圖為LUYOR-3320平行光表面檢查燈的綠光用于檢查wafe的particle

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上圖為LUYOR-3320白色光源平行光表面檢查燈用于檢查wafe的particle

首先讓我們再來看看LED平行光表面檢查燈LUYOR-3320還有哪些應用范圍?

觸控面板、太陽能基板、LED 基板、LCD 基板、貼合玻璃、光學。

鏡頭表面、硅晶圓拋光面、擴散板…等刮傷與粉塵檢查。

各式表面處理后檢查:

陽極后表面、電鍍表面、汽車烤漆表面、塑料外殼表面鍍膜層、手機鏡面外殼

各式光電產品表面檢查:

玻璃表面鍍膜、觸控面板鍍膜、藍寶石基板、光罩(盒)、半導體晶圓、LCD面板、太陽能基板、彩色濾光片、各種Film材

各式研磨拋光表面:

金屬加工件、塑料加工件、玻璃表面、石英表面、藍寶石表面、陶瓷基板表面。

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